Στις 9 Αυγούστου 2022, ο Πρόεδρος Τζο Μπάιντεν υπέγραψε επίσημα τον νόμο για το Chip and Science Act. Στο πλαίσιο της στήριξης 54,2 δισεκατομμυρίων δολαρίων για τη βιομηχανία ημιαγωγών των ΗΠΑ, το νομοσχέδιο αναφέρει επίσης ξεκάθαρα ότι «οι επιδοτούμενες εταιρείες δεν μπορούν να πραγματοποιήσουν σημαντικές επεκτάσεις στην Κίνα και τις σχετικές χώρες όσον αφορά τη βιομηχανία ημιαγωγών για δέκα χρόνια». Ταυτόχρονα, οι Ηνωμένες Πολιτείες σχημάτισαν επίσης μια συμμαχία τσιπ με άλλες δυνάμεις της βιομηχανίας ημιαγωγών όπως η Νότια Κορέα, με συχνές ενέργειες.
Η μελλοντική ανάπτυξη των εγχώριων τσιπ της Κίνας για την αντικατάσταση των εισαγόμενων τσιπ έχει καταστεί δεδομένο, οι σχετικές βιομηχανικές εφαρμογές χρειάζονται επειγόντως ανάπτυξη. Το λέιζερ σταγόνας νερού ως ηγέτης και πρωτοπόρος στον τομέα καθαρισμού με λέιζερ, αλλά και στη συνεχή επένδυση στο κόστος έρευνας και ανάπτυξης, για τη διερεύνηση της δυνατότητας εφαρμογής της μηχανής καθαρισμού λέιζερ στη βιομηχανία κατασκευής τσιπ, ελπίζοντας να επιταχύνει την ανάπτυξη του ημιαγωγού της Κίνας βιομηχανία να κάνει το κομμάτι τους.
Στη βιομηχανία κατασκευής τσιπ, ο καθαρισμός ημιαγωγών σε όλη τη βιομηχανία, τα βήματα αντιπροσωπεύουν περισσότερο από το 30 τοις εκατό της συνολικής παραγωγικής διαδικασίας, είναι μια βασική διαδικασία που επηρεάζει την ποιότητα των πλακών και την απόδοση των τσιπ, με χώρο αγοράς άνω των 40 δισεκατομμυρίων. Αν και στη σημασία και την κλίμακα της αγοράς εξοπλισμού δεν είναι τόσο σημαντική όσο η λιθογραφία και άλλος βασικός εξοπλισμός, αλλά ως αναντικατάστατη σύνδεση με την απόδοση παραγωγής τσιπ και τα οικονομικά οφέλη των κατασκευαστών έχουν ζωτικό αντίκτυπο.
Επί του παρόντος, καθώς η διαδικασία κατασκευής τσιπ συνεχίζει να βελτιώνει το επίπεδο πολυπλοκότητας, οι απαιτήσεις για τον έλεγχο των ρύπων της επιφάνειας του πλακιδίου συνεχίζουν να βελτιώνονται. είναι βέβαιο ότι η διαδικασία καθαρισμού είναι η πιο συχνή από όλες τις διαδικασίες και θα αυξηθεί περαιτέρω στο μέλλον.
Όταν ο κόμβος διεργασίας φτάσει το 10nm το 2018, οι απαιτήσεις του πλακιδίου πυριτίου για τις παραμέτρους καθαρισμού φτάνουν σε ένα ορισμένο ύψος: επιφανειακά σωματίδια και πυκνότητα COP μικρότερη από 0,1 / c㎡, κρίσιμη επιφανειακή πυκνότητα μεταλλικού στοιχείου μικρότερη από 2,5 * 10⁹at / γ㎡. Προς το παρόν, μερικές εγχώριες επιχειρήσεις μπορούν να κάνουν κόμβο διεργασίας 7 nm, και όπως η TSMC, η Samsung, κ.λπ. μπορούν ήδη να παράγουν μαζικά 3 nm, στην επίδραση στα 2 nm, οι απαιτήσεις για καθαρισμό θα είναι μόνο υψηλότερες.
Οι τρέχουσες μέθοδοι καθαρισμού γκοφρέτας είναι η εμβάπτιση, ο περιστροφικός ψεκασμός, το μηχανικό βούρτσισμα, ο υπερήχος, ο μεγαηχητικός, το πλάσμα, η αέρια φάση, η ροή δέσμης κ.λπ., κυρίως χρησιμοποιώντας συνδυασμό υγρού καθαρισμού και στεγνού καθαρισμού, ο υγρός καθαρισμός είναι η κύρια ροή, αλλά θα ελαφρά ζημιά στο υλικό, όπως η δημιουργία ζημιών γραφικών, COP (100nm περίπου κοιλότητα), κ.λπ., στεγνό καθάρισμα ως καθαρότερη τεχνολογία καθαρισμού στο τμήμα της γραμμής παραγωγής της εφαρμογής, οι προοπτικές είναι πιο ελπιδοφόρες.
Η μηχανή καθαρισμού με λέιζερ ως στεγνό καθάρισμα, για τη διαδικασία παραγωγής γκοφρέτας επιφανειακής μόλυνσης - όπως σωματίδια σκόνης, μέταλλα, οργανική ύλη, οξείδια κ.λπ. έχουν καλό καθαριστικό αποτέλεσμα και η ακρίβεια του αποτελέσματος είναι πιο ελεγχόμενη, αλλά υπάρχει δεν υπάρχουν άλλα ώριμα παραδείγματα οικιακών εφαρμογών, λέιζερ σταγόνας νερού για κοινή χρήση της αναφοράς διαδικασίας τραχείας επιφάνειας γκοφρέτας, ελπίζουμε ότι το μέλλον του καθαρισμού με λέιζερ μπορεί να εμπλακεί περαιτέρω στη διαδικασία κατασκευής τσιπ.
Ως αναδυόμενη τεχνολογία βιομηχανικού καθαρισμού, η μηχανή καθαρισμού με λέιζερ δεν έχει ακόμη ακουστεί στην Κίνα ως παράδειγμα πρακτικής εφαρμογής στη διαδικασία παραγωγής γκοφρετών. Αλλά στις προκαταρκτικές δοκιμές καθαρισμού φαίνεται ότι ο καθαρισμός με λέιζερ στον τομέα των ημιαγωγών εξακολουθεί να είναι πολλά υποσχόμενος, λίγο πριν κανείς δεν έχει κάνει τις προκαταρκτικές τεχνικές προσπάθειες. Θα διερευνήσουμε περαιτέρω τη δυνατότητα καθαρισμού με λέιζερ στην εφαρμογή κατασκευής τσιπ αργότερα, για να βοηθήσουμε την ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών της Κίνας.
